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SPS(POLOS)旋涂機的工作原理

發(fā)布時間: 2023-06-09  點擊次數(shù): 945次

     我們的POLOS®單晶圓旋涂機有NPP或PTFE兩種材質(zhì)。這些高質(zhì)量的旋涂機專為MEMS,半導(dǎo)體,生命科學,PV,微流體等領(lǐng)域的研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設(shè)計。適用于所有典型的旋轉(zhuǎn)工藝:清潔、漂洗/干燥、涂層、顯影、載玻片和蝕刻。

POLOS SPIN150i NPP

通過大型彩色觸摸屏進行簡單的分步配方編程

帶注射器支架的透明蓋子,用于中央分配

高加速度和高精度

手動化學品分配

產(chǎn)品編號41096

材料天然聚丙烯

基板尺寸?150 mm 或 4“ x 4" 方形基板

SPS(POLOS).jpg


產(chǎn)品描述

      POLOS SPIN150i是一款多功能的高質(zhì)量基材旋涂機,由PTFE或NPP制成。它專為研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設(shè)計。用于手動或自動(可選)化學品分配的桌面版本。

適用于涂布、清洗、漂洗/干燥、顯影、蝕刻、PDMI等工藝


規(guī)格:


高達 6“ (150 mm) 晶圓

高達 4“ x 4" (100 mm) 方形基板

材料:天然聚丙烯(NPP)

通過大型彩色觸摸屏進行簡單的分步配方編程

產(chǎn)品特點

1.電機勵磁和電樞分開供電。勵磁用12伏直流穩(wěn)壓電源供電,電樞用運放控制IRF830調(diào)速,它比可控硅調(diào)速*,故其轉(zhuǎn)速在500—8000轉(zhuǎn)/分范圍內(nèi)非常穩(wěn)定。

2.本勻膠機有兩檔轉(zhuǎn)速。在啟動之后,先以低速運轉(zhuǎn),然后自動變到高速運轉(zhuǎn)。兩檔速度及運行時間分別可調(diào)。

3.本勻膠機采用光電檢測,數(shù)字電路測速,對電機的轉(zhuǎn)速檢測快速準確。電機穩(wěn)速方面采用了光電隔離的精密負反饋電路,使整機在高達8000RPM以上轉(zhuǎn)速時仍十分穩(wěn)定,有力的保證了勻膠質(zhì)量。

4.“吸片"采用電子開關(guān)控制電磁閥完成氣路通斷,這樣適合流水線工藝,一個氣泵可同時帶幾臺勻膠機工作,提高效率。

5.勻膠機定時采用可調(diào)定時電路控制,面板上調(diào)節(jié)Timer旋鈕即可改變勻膠時間。

6.在安裝結(jié)構(gòu)上,采取了減震措施,因而勻膠機在運轉(zhuǎn)時噪音很低。

7.電磁閥與電機運行有連鎖功能,電磁閥未動作不能啟動電機運行,本次勻膠電機未停不能進行下次勻膠,若運行中誤按“CONTROL"鍵也不能停止吸氣,即不會產(chǎn)生跑片。

由于采用了以上一系列措施,故本機具有很高的轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性和快速啟動性,可以保證涂覆表面均勻,并可通過調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)涂覆厚度。


POLOS 300 高級單基板旋轉(zhuǎn)處理器,臺式機版本或集成商型號,自動化學品分配,重型電機。這種革命性的旋涂機系列可用作您工藝的全自動解決方案。由于采用天然聚丙烯和 PTFE 制成的全塑料外殼,它支持多種流體。它適用于處理小至 5 mm 的碎片,甚至適用于處理小至 5 mm 的碎片。


適用于涂布、清洗、漂洗/干燥、顯影、蝕刻、PDMI 和其他工藝

SPS(POLOS)旋涂機的工作原理



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